▶︎測定項目

• 測定範囲(1μm~1500μm)
• 粒子径測定
• 真円度
• 左右対称性
• アスペクト比
• 透明度
• 粒度指数
• 体積平均径
• 標準偏差値
• 対象度

▶︎二次電子像観察

二次電子を検出します。試料の凹凸の様子を観察できます。

▶︎反射電子像観察

反射電子を検出し、主に元素組成差の観察に利用できます。

▶︎EDS(元素)分析

分析元素範囲はB~Uとなります。

▶︎低真空機能

資料室の真空度を数十から数百パスカルまでの真空度に する機能です。帯電が軽減される為、難しい前処理無しで非導電性試料の観察ができます。

• 2波長光源で0.02~2000μmのワイドレンジをシームレス測定。
• リバースフーリエ構造とダイレクト測光の採用で信頼性UP。
• 微量湿式ユニットによりサンプル+分散媒は20mlで十分測定可能。
• SOP(標準作業手順)でヒューマンエラー解消と最短測定を実現。
• カセットセルでユニット切り替えを迅速。