スーパーコール分析事例1
スーパーコール分析事例2
二次電子を検出します。試料の凹凸の様子を観察できます。
反射電子を検出し、主に元素組成差の観察に利用できます。
分析元素範囲はB~Uとなります。
資料室の真空度を数十から数百パスカルまでの真空度に する機能です。帯電が軽減される為、難しい前処理無しで非導電性試料の観察ができます。
【電子顕微鏡(SEM画像)の事例】
【電子顕微鏡(分析)の事例】
【レーザー粒度測定の事例】